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Nano Seven 測定例
ナノ表面粗さ計測器「ナノセブン」の計測プログラムを紹介します
Ra（線粗さ）
任意を長さを指定し、繰り返し測定が可能。Ra、Rq、Rzの平均値と標準偏差を表示します
Sa（面粗さ）
任意の面積を指定し測定。Sa、Sq、Sz値と最大高さ、最大谷深さを表示します
表面形状
断面及び表面の形状を3Dマップや断面図で表示します
段差・形状
段差形状を断面及び立体的に測定し、その凹凸高さを表示します。
※上図は米国VLSIスタンダード社「高さ標準ゲージ（実測値20.2±1.0nm）を測定したものです
スクラッチ形状
スクラッチ等傷の検出及び形状を3Dマップや断面、鳥瞰図で表示します
反り形状
計測物の反り形状を表示します
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