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Nano Seven 7つの特長

1 短時間計測

​ライン計測であれば、1計測数秒で測定可能です。

​これにより製品の全数検査も可能

2 防振台不要

​光ヘテロダイン干渉計測の採用と独自の筐体構造設計により、振動に強く、通常環境下では防振台を必要としません。

3 非接触測定

低出力レーザー(4mW)による測定のため、測定対象物に影響を与えません。また低出力のため安全性も高く、冷却の必要もありません。

4 広範囲測定

​ナノセブンの測定範囲は測定ステージの移動量に依存するため、数mmから数十mmという長距離・広範囲な測定が可能です。

5 高分解能

​光ヘテロダイン干渉計測の採用で、高さ方向の分解能は約0.01nmで、粗さ測定精度は0.1nmです。

​40倍対物レンズの採用で面分解能が大幅にアップしました。

6 簡単操作

計測ポイント設定をした後、ボタン一つで自動で測定開始、測定データを登録できます。また計測対象物との接触を気にする必要がなく、W.D.も長いため安心して使用できます。

7 低コスト

サブナノメートルを計測できる計測器としては、1000万円を切る低価格。また購入後も消耗品の交換はほぼ必要なく、ランニングコストは電気代のみの低ランニングコストです。

​導入メリットについて

​ナノセブンの導入により、検査時間の短縮による歩留まりの向上、また防振台や前処理、真空装置も不要で設置コストも抑えられます。また購入後もほぼメンテナンスフリーのためランニングコストも抜群です。

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