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Nano Seven-40について
Nano Seven-40は従来のNano Sevenで使用している20倍の対物レンズを40倍に換えることにより、粗さ測定精度、形状精度を格段に向上させることが可能となります。
20倍レンズ（上）と40倍レンズ（下）の断面曲線を測定した時のイメージ図です。
ビーム径を半分に絞ることで、断面曲線をより忠実に再現することが可能となります。
20倍レンズ（左）と40倍レンズ（右）の断面曲線を測定した時の形状イメージ図です。
ビーム径を半分に絞ることで、断面曲線をより忠実に再現することが可能となります。
下図は従来のｘ20レンズで測定した粗さグラフ（Ra左図)とｘ40レンズで測定した粗さグラフ（Ra右図）です。水平面の分解能が向上したことで、より細かい凹凸が表示可能となりました。
※測定サンプル：研磨チタン表面
測定ピッチ：1μｍ
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