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Nano Seven-40について
Nano Seven-40は従来のNano Sevenで使用している20倍の対物レンズを40倍に換えることにより、粗さ測定精度、形状精度を格段に向上させることが可能となります。
20倍レンズ(上)と40倍レンズ(下)の断面曲線を測定した時のイメージ図です。
ビーム径を半分に絞ることで、断面曲線をより忠実に再現することが可能となります。
20倍レンズ(左)と40倍レンズ(右)の断面曲線を測定した時の形状イメージ図です。
ビーム径を半分に絞ることで、断面曲線をより忠実に再現することが可能となります。
下図は従来のx20レンズで測定した粗さグラフ(Ra左図)とx40レンズで測定した粗さグラフ(Ra右図)です。水平面の分解能が向上したことで、より細かい凹凸が表示可能となりました。
※測定サンプル:研磨チタン表面
測定ピッチ:1μm
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