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Nano Seven 製品仕様

Nano Seven

制御本体
光学本体
ソフトウェア
機器仕様
計測機種 ナノ表面粗さ・形状計測器
計測方式 光ヘテロダイン干渉計測
高さ分解能 0.01nm
高さ計測精度 0.1nm
最大計測範囲 Φ200
ステージ移動量 X軸:±25mm、Y軸:±50mm
使用レーザ 赤色可視光LDレーザ
本体外形寸法 W ×D ×H
本体重量 約35kg
測定プログラム 表面粗さ(Ra、Sa)、段差、反り
形状、スクラッチ
測定対象物例
Nano Sevenの測定対象の一例です

シリコン

サファイア


GaN

石英
SUS304

SiC

金コート

チタン
計測器分解能比較表

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