Nano Seven 製品仕様

​機器仕様

計測機種　　　　ナノ表面粗さ・形状計測器

計測方式　　　　光ヘテロダイン干渉計測

高さ分解能　　　0.01nm

高さ計測精度　　0.1nm

​最大計測範囲　　～Φ200

ステージ移動量　X軸：±20ｍｍ、Ｙ軸：±20ｍｍ

使用レーザ　　　赤色可視光ガスまたはLDレーザ

​対物レンズ　　　無限遠長差動20倍　ＮＡ0.4

　　　　　　　　無限遠長差動40倍　ＮＡ0.6

本体外形寸法　　Ｗ300×Ｄ650×Ｈ430

本体重量　　　　約35kg

測定プログラム　表面粗さ（Ra、Sa）、段差、反り

　　　　　　　　形状、スクラッチ