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Nano Seven 製品仕様

Digital art exhibit

Nano Seven

制御​本体
​光学本体
​ソフトウェア

​機器仕様

計測機種    ナノ表面粗さ・形状計測器

計測方式    光ヘテロダイン干渉計測

高さ分解能   0.01nm

高さ計測精度  0.1nm

​最大計測範囲  Φ200

ステージ移動量 X軸:±25mm、Y軸:±50mm

使用レーザ   赤色可視光LDレーザ

本体外形寸法  W  ×D  ×H

本体重量    約35kg

測定プログラム 表面粗さ(Ra、Sa)、段差、反り

        形状、スクラッチ

 

​測定対象物例

​Nano Sevenの測定対象の一例です

シリコン
サファイア
GaN
​石英
SUS304​
SiC
​金コート
チタン

計測器分解能比較表

ナノ計測器分解能比較表_edited.jpg
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