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Nano Seven 製品仕様
Nano Seven
制御本体
光学本体
ソフトウェア
機器仕様
計測機種 ナノ表面粗さ・形状計測器
計測方式 光ヘテロダイン干渉計測
高さ分解能 0.01nm
高さ計測精度 0.1nm
最大計測範囲 ～Φ200
ステージ移動量 X軸：±20ｍｍ、Ｙ軸：±20ｍｍ
使用レーザ 赤色可視光ガスまたはLDレーザ
対物レンズ 無限遠長差動20倍 ＮＡ0.4
無限遠長差動40倍 ＮＡ0.6
本体外形寸法 Ｗ300×Ｄ650×Ｈ430
本体重量 約35kg
測定プログラム 表面粗さ（Ra、Sa）、段差、反り
形状、スクラッチ
測定対象物例
Nano Sevenの測定対象の一例です
シリコン
サファイア
GaN
石英
SUS304
SiC
金コート
チタン
計測器分解能比較表
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